本閥主要用於(yu) 超純氣體(ti) 分析係統的壓力調節和恒定，結構采用特種不鏽鋼膜片作為(wei) 彈性元件，死體(ti) 積小、平衡速度快,使用溫度範圍寬，性能穩定；且內(nei) 腔結合處幾無橡膠密封件,避免了揮發性物質的產(chan) 生。其*的性能和小的安裝體(ti) 積為(wei) 儀(yi) 器和便攜式儀(yi) 器氣路控製部件的。
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