穩流閥 
穩流閥是為(wei) 了控製流經穩流閥的載氣流速保持穩定用的，因此原理和穩壓閥、減壓閥*不同。這裏是一個(ge) 穩流閥的結構示意圖，從(cong) 中我們(men) 可以看到這一點。 
首先我們(men) 發現調整旋鈕並不是壓緊彈性膜片，而是在調整入口針型閥。而且其他地方與(yu) 穩壓閥相比，差異也很大。從(cong) 原理上看，穩流閥的工作是這樣的： 
當穩流閥出口氣體(ti) 阻力增加時，氣體(ti) 流出速度變慢，將導致出口壓力P4增加，於(yu) 是B腔內(nei) 壓力P2和P4的壓差減小，從(cong) B腔流出下部針型閥的氣體(ti) 流量減小，B腔氣體(ti) 量增加，導致B腔壓力P2增加。P2增加導致金屬膜片向上移動，下部針型閥開度增加，從(cong) B腔流出的氣體(ti) 量增加，從(cong) 而導致P4壓力增加。P4壓力增加，將導致閥後載氣流量加大。這樣就彌補了出口阻力增加造成的氣體(ti) 流量減小。而調整旋鈕則通過調整入口和B腔間針型閥的開度，來控製B腔壓力P2和入口壓力P3/P1的壓差，來控製整個(ge) 氣體(ti) 流速的大小。